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1、使用介质及流量:氮气:1000sccm;甲烷:500sccm;氢气:500sccm;二氧化碳:500sccm ;
2、操作方式:四进一出,触摸屏操作;
3、使用压差:0.1-0.3Mpa;
4、供电及接头尺寸:220V供电 6mm卡套连接;
5、触摸屏上可设置气体程序,气体流量切换步长能够任意设置,不同气体切换时间步长可任意设置。
6、不同气体组合、气体量程等定制要求可以私聊。