D07-19B质量流量控制器/质量流量计/流量计

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D07-19B质量流量控制器/质量流量计/流量计

质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅

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表1. D07-19B型MFC性能指标

编号	项目	D07-19B
1	流量规格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
1	流量规格	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2	准确度	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
3	线性	±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
4	重复精度	±0.2 % F.S.
5	响应时间	1 ~ 2 sec
6	工作压差范围	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 Mpa (14.5~43.5 psid)
7	耐压	3 MPa (435.1 psig)
8	工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃
9	输入输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10	电源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
11	外形尺寸	见图4
19	重量	0.95 kg

注意：

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N₂）标定。

质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)

标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压 — 101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale): 满量程值

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